从理论上讲，金属材料都可以在真空炉中热处理。但因技术要求、加工成本、工艺实现的难易程度等原因，下列材料（工件）不宜在真空炉中热处理。

1.碳素钢。从成本角度考虑，碳钢价格较低，成品件价格较低，用真空炉处理实属浪费，除非高利润工件或者工件已经没有加工余量，对表面质量要求苛刻时的权宜之计。

2.某些使用特殊工艺的材料（工件）。比如为获取最佳机械性能，有些工件要求获得贝氏体，一般用等温淬火来实现，真空热处理炉很难实现；再如钢，要求高硬度、低变形，一般用水淬油冷工艺实现，真空炉虽然可以用高压气淬获得高硬度，但因在Ms点以下温度冷速较快，变形较大。

3.高温对N元素敏感，易形成有害效果的材料。真空炉为防止合金元素高温时挥发，通常在高温下充高纯氮气保持分压，冷却时一般采用充氮冷却。故该类材料不宜用真空炉处理。